1為改善射頻濺射法制備的防水透濕涂層的外觀和拒水性，對滌綸織物基底上的濺射氟碳高分子膜的泛黃問題進行了研究。
2在不同條件下用射頻濺射方法制備了氮化碳薄膜。
3射頻濺射沉積的薄膜均勻性和致密性要優于直流濺射沉積的薄膜。
4采用磁控射頻濺射法制備光波導用玻璃薄膜。
5在不同的襯底溫度下用射頻濺射方法制備了氮化碳薄膜。
6利用磁控射頻濺射技術制備了ITO薄膜。
7用射頻濺射的方法制備得的釓鈷膜具有垂直于膜面的單軸各向異性。
8本文用光譜分析的方法研究低溫反應射頻濺射生長的A1N薄膜。
9采用射頻濺射制備BST薄膜，研究了薄膜的介電擊穿特性。
